除了核心的分辨率，感光敏感度也是关键指标。

    

    它不仅决定了曝光光源的能量利用效率，更直接影响着芯片的量产效率和制造成本。

    

    如今国内的研发团队，还在攻克适配二代光刻机的光刻胶技术。

    

    吴祖现在要制备的，是直接适配第四代浸没式光刻机的高端ArF光刻胶，技术代差足足二十年。

    

    经过风淋、去静电、喷淋等一系列严格的洁净流程，吴祖穿着全套无尘服，走进了百级洁净车间。

    

    前段时间，他已经带着李柱完成了所有前期准备，成膜树脂、光引发剂、单体、助剂等各类反应原料都已制备完成。

    

    剩下最关键的一步，就是用超高速离心机完成高纯度分离提纯，去除所有会影响光刻精度的微量杂质。

    

    他小心翼翼地将预处理好的胶液样品送入离心机腔体，精准设置好转速、温度、时间等各项参数，按下了启动按钮。

    

    轻微的嗡鸣声瞬间在洁净车间响起，离心机开始高速运转。

    

    接下来，吴祖每隔固定时间，就会从离心机里取出微量样品，进行成分和纯度检测，实时调整工艺参数。

    

    李柱寸步不离地跟在旁边，手里拿着个小本子，像个认真听课的小学生，记录着每一个操作步骤、每一项参数细节，生怕漏过一个字。

    

    看着吴祖眼底掩不住的疲惫，还时不时打个哈欠，李柱连忙开口道：

    

    “阿祖，要不这个环节交给我盯着，你去旁边休息室睡一会儿，熬了好几个通宵，身体扛不住的。”

    

    吴祖想了想，没有拒绝，把操作要点和注意事项跟他交代了三遍，这才放心离开了洁净车间。

    

    几天后。

    

    实验室深处的暗红色防爆灯下，吴祖戴着无尘手套，小心翼翼地拧开了一个特制的避光棕色试剂瓶。

    

    瓶内，是均匀透亮的琥珀色粘稠液体，在昏暗的灯光下泛着温润的光泽。

    

    看着瓶中终于制备完成的样品，吴祖的嘴角忍不住向上扬起。

    

    “20ArF浸没式光刻胶样品，成了！”

    

    听到这句话，旁边的李柱瞬间激动得差点跳起来。

    

    “阿祖，你太牛了！真的做出来了！这就是你说的能适配第四代光刻机的高端光刻胶？”

    

    “没错。”

    

    吴祖点了点头：“不过现在有个问题，我们没办法对它的性能做完整的定量评估。”

    

    虽然他心里清楚，按照系统给出的成熟技术路线制备的这款光刻胶，性能绝对不会有半分偏差。

    

    但拿不出完整的测试报告，就没办法向外界证明它的真实性能，更没办法实现量产应用。

    

    光刻胶的性能测试，绝不是靠肉眼观察和经验判断就能完成的。

    

    它需要一整套精密且造价昂贵的专业测试设备。

    

    首先需要步进式光刻机完成曝光测试，再用高分辨率扫描电子显微镜，精准测量曝光后图形的分辨率、线边缘粗糙度、侧壁形貌等核心性能参数。

    

    这些设备，单台动辄数千万甚至上亿，几乎全被国外巨头垄断，对龙国实施了最严格的禁运政策。

    

    就算是燕京半导体研究所，手里也只有几台老旧设备，最高测试精度只能到200纳米，根本测不出这款20光刻胶的极限性能。

    

    吴祖低头沉思了片刻，眼中很快闪过一丝决断。

    

    “我没记错的话，德国的希曼半导体公司，手里有全套的高端光刻胶测试平台，而且他们近期正好有一批第三方送检样品。”

    

    “李柱哥，你能不能想办法，帮我搞到他们这次的送检名单和排期？”

    

    李柱愣了一下：“这……这种内部送检排期，他们应该不会对外公布的吧？”

    

    “我当然知道他们不会公开，所以才要想办法弄到手。”

    

    李柱看着他眼里的笃定，最终点了点头。

    

    “好！包在我身上，我一定给你弄到手！”

    

    ……

    

    云州市，科菲集团龙国分公司，光刻胶材料研究部。

    

    尽管西方各国在半导体领域对龙国筑起严苛的技术封锁线，可诸多外资半导体在华分公司并未撤离，科菲集团便是典型代表。

    

    这家老牌半导体巨头，在龙国的分公司除了光刻胶研发，平日里也承接一些其他高分子材料的测试与改良业务。

    

    罗吉尔皱着眉，扫了一眼眼前拥挤的办公区，心里忍不住翻了个白眼，才不情不愿地走进。

    

    这里的办公隔间比他之前的办公室挤了不止一倍，空气中常年弥漫着化学实验室的试剂气味，混杂着打印机的墨粉味。

    

    史密斯拉过一张桌角掉漆的办公椅坐下，一脸嫌恶扇了扇鼻尖的空气，冲着邻座的同事抱怨道：

    

    “这种鬼地方，你们到底是怎么待下去的？”

    

    听着他的吐槽，同事们只是无奈耸了耸肩，没人接话。

    

    对于这个从总部核心部门经理位置上被贬下来的空降兵，部门里的人都只把他当成了一个跳梁小丑，没人愿意凑上去讨好。

    

    看着众人漠然的反应，罗吉尔心里的火气更盛，却只能憋回去，虎落平阳被犬欺，他早就不是那个前呼后拥的部门经理了。

    

    他悻悻地转回头，看着桌面上堆得乱七八糟、连分类都没做的文件，心里的不爽更是翻了倍。

    

    “带木！”

    

    罗吉尔不耐烦扒拉了一下桌上的文件，然后冲着旁边的人说道：

    

    “就没人过来帮我收拾一下桌面吗？这地方乱得跟垃圾场一样！”

    

    预想中助理或秘书小跑过来的脚步声并没有响起。

    

    回应他的，只有周围此起彼伏的键盘敲击声，以及同事们投过来带着漠然，甚至藏着讥诮的目光。

    

    罗吉尔愣在原地，脸上瞬间闪过一丝难堪。

    

    他才意识到，这里早就不是他那个随时有两名专职助理待命的总经理办公室了。

    

    身份的落差像一盆冰水，兜头浇下，瞬间让他清醒了过来。

    

    他咬着牙，脸色铁青，开始自己动手收拾起桌上的狼藉。

    

    动作间，他故意把文件摔得啪啪作响，用这种方式宣泄着心里的不满。